中国电科再签多台大型卧式高温纯化装备订单-中国电子科技集团有限公司

　　近日，电科装备所属山西中电科新能源技术有限公司与多家知名企业再签多台大型卧式高温纯化装备订单，进一步巩固在国内高温纯化领域市场主导地位。

　　目前，国内硅基半导体和第三代半导体行业对高纯碳基材料的需求大幅增加，电科装备瞄准该领域自主研发大型卧式高温纯化装备，采用全新炉胆结构、进气模式、真空系统，配套核心纯化工艺包，可满足第三代半导体行业应用需求。

　　电科装备积极布局碳基材料装备领域，先后研发国内首台套软毡连续式纯化炉、国内首台套碳纳米管连续纯化炉、立式/卧式/感应高温纯化炉等，并集成配套纯化工艺包，设备技术及质量均达到国内领先水平。后续，电科装备将持续深耕，大力创新，不断推动我国碳基材料高温纯化装备自立自强。